INFICONModeLock技术确保获得最高、最稳定的速率和厚度测量分辨率，即使在速率极低的情况下
AutoZ技术通过自动测定沉积材料的Z比值，提高厚度测量的精度
一个IC6即可同时、单独或以任何组合方式控制最多6个来源，无需使用两个或三个控制器
彩色TFTLCD显示屏使用户很容易看到过程的进展状况
10Hz测量
100ms样本速率下频率范围为+/-0.0035Hz
USB数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录
多个源厚度合计功能
测量低密度、低速率材料的平均速率（使用稳定源的低速率OLED掺杂材料沉积最多30秒）
速率显示分辨率可达0.001/s
4米XIU选件能够在大型系统中使用较长的真空传感器电缆
无沉积控制允许持续控制源，因为基片可以通过沉积室不断循环
6个标准DAC输出和另外6个可选输出用于来源控制、速率或厚度监控